11:48IT之家（博客/媒体）
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推荐理由：惠然微电子发布国内首台14/22nm CD-SEM量测设备，与国际产品对标，还与华润微电子达成战略合作，推动半导体设备国产化。
半导体量测设备
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9月2日
11:48
惠然微电子在CSEAC 2026展会上发布14nm研发级和22nm量产级12英寸晶圆CD-SEM eMILO-FW300设备。该设备向下兼容22nm大规模量产、向上支撑14nm前沿工艺研发，是国内首台打通"研发+量产"双场景的高端CD量测设备。公司还推出光掩模版关键尺寸量测设备Mask CD-SEM eMILO-FR7，填补国产高端掩模量测设备空白。AI-电子束量测技术平台RMS补齐国产设备在算法与数据处理端的短板，实现从硬件到软件的自主可控。