14:50IT之家(博客/媒体)精选尼康在2025年7月推出首款面向半导体后端工艺的图案化系统DSP-100,分辨率1μm,每小时处理50片510mm×515mm基板。本月5日尼康宣布开发分辨率1.5μm的数字光刻机,每小时处理65片基板,生产效率提升30%。新机与DSP-100共享技术平台,可通过更换光学系统升级到1μm分辨率,满足不同布线需求。行业尼康数字光刻机DSP-100半导体后端工艺面板级封装推荐理由:尼康新机效率更高原文