精选理由
尼康新机效率更高
尼康在2025年7月推出首款面向半导体后端工艺的图案化系统DSP-100,分辨率1μm,每小时处理50片510mm×515mm基板。本月5日尼康宣布开发分辨率1.5μm的数字光刻机,每小时处理65片基板,生产效率提升30%。新机与DSP-100共享技术平台,可通过更换光学系统升级到1μm分辨率,满足不同布线需求。
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尼康在2025年7月推出首款面向半导体后端工艺的图案化系统DSP-100,分辨率1μm,每小时处理50片510mm×515mm基板。本月5日尼康宣布开发分辨率1.5μm的数字光刻机,每小时处理65片基板,生产效率提升30%。新机与DSP-100共享技术平台,可通过更换光学系统升级到1μm分辨率,满足不同布线需求。
IT之家 6 月 9 日消息,尼康 (Nikon) 在 2025 年 7 月的时候曾宣布推出其首款面向半导体后端工艺的图案化系统 DSP-100 ,这一设备拥有 1μm 分辨率和每小时 50 片 510mm×515mm 基板的处理器能力。 而在当地时间本月 5 日,尼康宣布将开发一款 分辨率较低 (1.5μm) 但 生产效率至少高出 30% (每小时 65 片基板)的数字光刻机。其与 DSP-100 共享技术平台,但有着不同的优势。 尼…