14:50IT之家（博客/媒体）精选尼康在2025年7月推出首款面向半导体后端工艺的图案化系统DSP-100，分辨率1μm，每小时处理50片510mm×515mm基板。本月5日尼康宣布开发分辨率1.5μm的数字光刻机，每小时处理65片基板，生产效率提升30%。新机与DSP-100共享技术平台，可通过更换光学系统升级到1μm分辨率，满足不同布线需求。行业尼康数字光刻机DSP-100半导体后端工艺面板级封装推荐理由：尼康新机效率更高原文