#EUV
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信息流里打上「EUV」标签的资讯、产品与论文,按刊登时间排,新的在上。
9月15日
6月25日
论文09:31
基于波导法和物理信息神经算子的EUV掩模梯度反演光刻这篇论文用可微波导法和WGNO做EUV掩模反演光刻,能自动恢复吸收体参数,在11.2nm下针对实际材料验证效果,做光刻仿真的可以看看。
6月2日
这篇论文用可微波导法和WGNO做EUV掩模反演光刻,能自动恢复吸收体参数,在11.2nm下针对实际材料验证效果,做光刻仿真的可以看看。